無氧烘箱

設備簡介
高性能無氧烘箱能夠在氧氣濃度低至100ppm的氣氛中，在250℃的溫度下進行熱處理。這使得該系列非常適合晶圓塑封干燥，銀膠固化，晶圓光刻的軟烤和硬烤等，以及各類抗氧化熱處理。無氧烘箱采用專有的腔室結構和密封技術，具有出色的氣密性和溫度均勻性，還確保了更高的穩定性和重現性。同時采用由冷卻水循環的外部冷卻機構，可以在不影響爐內氣氛的情況下進行快速冷卻，www.hymniuniu.com 從而縮短處理時間。適用于固化半導體晶圓干燥，IC封裝（銅基板，銀膠，硅膠，環氧樹脂），玻璃基板烘烤等。

產品特點
1、升溫速率可控，設定工藝曲線，一鍵運行；輔助降溫縮短降溫時間，提高生產效率；可達到低氧環境，固化效果更好。
2、箱內采用單向水平運風，兩側風道內強壓送風，風道兩側采用高密度沖孔風板，精確控制導流板角度，確保箱內溫度均勻性。
3、高精度溫度控制器，PID調節，控制精度0.1℃，可程式觸摸屏控制器，并附設有超溫自動停電及報警電路，控制可靠，使用安全。
4、減壓閥+雙流量計節氮系統，無氧、低氧環境下節省氮氣消耗量。
5、采用大功率耐高溫長軸馬達，大口徑不銹鋼渦輪扇葉，可在高溫環境下長期穩定工作。
6、烘箱內部為不銹鋼結構，箱內持續充氮，使烘箱工作室內處于低氧、潔凈狀態。
7、應用功能強大，老化、退火、測試、固化、干燥、溶劑、涂料和油漆固化、壓力緩解等。

選配組件
1、程序控溫：可配置程序型溫度控制器，實現多組程序控溫。
2、測溫功能：多點測溫查看及記錄功能。
3、風門調節：可加裝風量調節裝置，亦可實現風門開關程序控制。
4、溫度記錄儀：可配置多通道溫度記錄儀，打印機或RS485接口，用于連接打印機或PC設備，監控記錄溫度變化狀況。

5、快速降溫系統：實現快速升降溫的功能。

規格參數

型號	OVEN-373N	工作穩定溫度范圍	常溫~250℃
使用電壓	三相五線380V，50Hz	控溫精度	±0.1℃
加熱功率	4.5KW*2	溫度均勻性	±2.5%℃
風機功率	370W*2	溫度穩定度	±0.5℃
極限含氧量	＜100PPM	降溫方式	水冷降溫
尺寸
工作尺寸	H（6002）mmW720mm*D600mm
外觀尺寸	H1805mmW1340mmD865mm
箱體
箱體外壁材料	SS41#冷軋鋼板
箱體內膽材料	304#不銹鋼板
保溫材料	100K硅酸鋁棉，材料不可燃，隔熱性強；
容積	260L*2
外箱涂裝材料	外表面整體噴粉，烤漆處理，顏色為計算機白，表面不脫粉，不掉漆；
移動腳輪	箱體底部安裝4個帶剎車萬向輪，方便烤箱移動和固定；
工作室
工作室數量	2 每個工作室可分2層，每個工作室可單獨設置調節溫度。
內部配置	配置4個不銹鋼鋼支層架，層架上包裹不銹鋼網孔板,層架間距可調節。
加熱速率	空載情況下從常溫升溫至175℃≤30分鐘，恒溫時間可控。
降溫速率	175℃降溫至80℃≤40分鐘
選配	含氧檢測儀，真空泵，HEPA高效過濾

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