一、晶圆尺寸：150 和 200 mm

ThermoChuck 型号	温度范围°C	冷却	加热
TP03000A	-65 to +200°C	Mechanical refrigeration, closed loop liquid cooling	热电
TP03010A	+20 to +200°C	风冷/水冷*	热电
TP03010B	0 to +200°C	Closed loop glycol/water cooling	热电
TP03015A	+30 to +200°C    (+300ºC optional)	风冷/水冷*	电阻
TP03015B	+30 to +200°C   (+300°C optional)	Closed loop glycol/水冷	电阻

电压 115V或 220V

* 用户提供冷却介质

二、晶圆尺寸：300 mm

ThermoChuck 型号	温度范围°C	冷却	加热
TP03500A	-55 to +200	Mechanical refrigeration, closed loop liquid cooling	电阻
TP03500D	+20 to +200	Open loop air cooling with Vortex*	电阻
TP03500E	+30 to +200	Open loop air cooling*	电阻

电压 220V

* 用户提供冷却介质

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