无尘高温箱的使用方法与注意事项

Lab Companion 无尘高温箱系列用于半导体制造中硅片、砷化jia、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤；也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门；也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。

无尘高温箱是实验辅助干燥设备之一，应用范围广泛，操作较复杂，因此，较一般烘箱有着更高的要求，使用过程中就有着更多需要注意的地方。

一、样品放置

1、不可在烘箱加热状态下放置样品，需在确保加热关闭状态下放置样品；

2、放置样品时，上下四周应留存一定空间，保持箱内气流畅通；

3、若样品在干燥过程中会产生相态变化，必须装在托盘中，避免污染其他样品；

4、任何液态溶剂以及真空状态下燃点、沸点降低至150℃以下物品，严禁放入箱内。

二、关紧箱门

1、关闭时不可太用力，避免造成箱体大幅震动；

2、箱门上有螺栓，关闭时需确认箱门与硅胶密封条紧密结合。

三、加热

1、加热步骤必须在气压稳定状态下进行，否则易导致内外压强及温度差，造成外部大气冲入箱内等突发状况；

2、升温过程中，加热指示灯长亮，达到设置温度后，加热自动停止，同时指示灯熄灭。待温度低于设置温度时，加热再次启动，加热指示灯亮；

3、加热指示灯及温度需正常显示，若指示灯不亮需及时关闭电源并联系仪器负责人。

四、温度设置

1、设置温度不可超过额定温度，真空下物料燃点、沸点骤降，设置温度不合理会造成固态物料熔融结块等现象；

2、数显温度需正常指示，若不显示或出现闪烁、跳跃等异常需及时关闭电源并联系仪器负责人；

3、操作人员需待实际温度与设置温度一致，加热指示灯熄灭后，方可离开；

4、为避免控温失灵，需有专人定时查看仪器运行是否正常，并留意烘烤物料变化情况，若发现异常需第D一时间关闭加热、切断电源、打开放气阀门。

五、取样

1、放气时切勿将阀门一次开至zui大，避免外部气流进入箱内时冲击样品，造成箱内及样品间的污染；

2、由于长时间真空导致箱门密封硅橡胶变形而无法打开箱门时，不可强制开启箱门，只需等待密封硅橡胶圈缓慢恢复原状，即可打开箱门。

3、取样完毕后，及时关闭放气阀门。